Manufacture and Processing of MEMS Structures

  1. Gosálvez, M.
Libro:
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies

ISBN: 9780815515944

Año de publicación: 2010

Páginas: 157-177

Tipo: Capítulo de Libro

DOI: 10.1016/B978-0-8155-1594-4.00010-3 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus