Fabrication of sharp tips with high aspect ratio by surfactant-modified wet etching for the AFM probe

  1. Tang, B.
  2. Sato, K.
  3. Tanaka, H.
  4. Gosalvez, M.A.
Actas:
Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

ISSN: 1084-6999

ISBN: 9781424496327

Año de publicación: 2011

Páginas: 328-331

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/MEMSYS.2011.5734428 GOOGLE SCHOLAR
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