Wet Etching of Silicon

  1. Gosálvez, M.A.
  2. Zubel, I.
  3. Viinikka, E.
Libro:
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies: Second Edition

ISBN: 9780323299657

Año de publicación: 2015

Páginas: 470-502

Tipo: Capítulo de Libro

DOI: 10.1016/B978-0-323-29965-7.00022-1 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus