Modeling of Silicon Etching

  1. Gosálvez, M.A.
Buch:
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies: Second Edition

ISBN: 9780323299657

Datum der Publikation: 2015

Seiten: 333-353

Art: Buch-Kapitel

DOI: 10.1016/B978-0-323-29965-7.00012-9 GOOGLE SCHOLAR
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