Wet etching of silicon

  1. Gosálvez, M.A.
  2. Zubel, I.
  3. Viinikka, E.
Libro:
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies

ISBN: 9780128177860

Año de publicación: 2020

Páginas: 447-480

Tipo: Capítulo de Libro

DOI: 10.1016/B978-0-12-817786-0.00017-7 GOOGLE SCHOLAR

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Fuente de los datos: Scopus