Characterization of a SAW-Pirani vacuum sensor for two different operating modes

  1. Mercier, D.
  2. Bordel, G.
  3. Brunet-Manquat, P.
  4. Verrun, S.
  5. Elmazria, O.
  6. Sarry, F.
  7. Belgacem, B.
  8. Bounoua, J.
Revista:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Año de publicación: 2012

Volumen: 188

Páginas: 41-47

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/J.SNA.2012.01.039 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus