Thin film diffusion barrier formation in PDMS microcavities

  1. Riaz, A.
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  5. Ricco, A.J.
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  7. Daniels, S.
  8. Lee, L.P.
Actes de conférence:
TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems

ISBN: 9781424441938

Année de publication: 2009

Pages: 1051-1054

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1109/SENSOR.2009.5285939 GOOGLE SCHOLAR
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