Transient and Stable Profiles During Anisotropic Wet Etching of Quartz

  1. Xing, Y.
  2. Gosálvez, M.A.
  3. Zhang, H.
  4. Li, Y.
  5. Qiu, X.
Zeitschrift:
Journal of Microelectromechanical Systems

ISSN: 1057-7157

Datum der Publikation: 2017

Ausgabe: 26

Nummer: 5

Seiten: 1063-1072

Art: Artikel

DOI: 10.1109/JMEMS.2017.2707096 GOOGLE SCHOLAR
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