Simulation of microloading and ARDE in DRIE

  1. Gosalvez, M.A.
  2. Zhou, Y.
  3. Zhang, Y.
  4. Zhang, G.
  5. Li, Y.
  6. Xing, Y.
Actas:
2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2015

ISBN: 9781479989553

Año de publicación: 2015

Páginas: 1255-1258

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2015.7181158 GOOGLE SCHOLAR
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