Level set implementation for the simulation of anisotropic etching: Application to complex MEMS micromachining

  1. Montoliu, C.
  2. Ferrando, N.
  3. Gosálvez, M.A.
  4. Cerdá, J.
  5. Colom, R.J.
Zeitschrift:
Journal of Micromechanics and Microengineering

ISSN: 0960-1317,  1361-6439

Datum der Publikation: 2013

Ausgabe: 23

Nummer: 7

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0960-1317/23/7/075017 GOOGLE SCHOLAR
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