Implementation and evaluation of the Level Set method: Towards efficient and accurate simulation of wet etching for microengineering applications

  1. Montoliu, C.
  2. Ferrando, N.
  3. Gosálvez, M.A.
  4. Cerdá, J.
  5. Colom, R.J.
Revista:
Computer Physics Communications

ISSN: 0010-4655

Año de publicación: 2013

Volumen: 184

Número: 10

Páginas: 2299-2309

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.CPC.2013.05.016 GOOGLE SCHOLAR

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