Evolutionary continuous cellular automaton for the simulation of wet etching of quartz

  1. Ferrando, N.
  2. Gosálvez, M.A.
  3. Colóm, R.J.
Zeitschrift:
Journal of Micromechanics and Microengineering

ISSN: 0960-1317,  1361-6439

Datum der Publikation: 2012

Ausgabe: 22

Nummer: 2

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0960-1317/22/2/025021 GOOGLE SCHOLAR
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