Sharp silicon tips with different aspect ratios in wet etching/DRIE and surfactant-modified TMAH etching

  1. Tang, B.
  2. Sato, K.
  3. Gosálvez, M.A.
Aldizkaria:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Argitalpen urtea: 2012

Alea: 188

Orrialdeak: 220-229

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1016/J.SNA.2012.01.031 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus