Sharp silicon tips with different aspect ratios in wet etching/DRIE and surfactant-modified TMAH etching

  1. Tang, B.
  2. Sato, K.
  3. Gosálvez, M.A.
Zeitschrift:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Datum der Publikation: 2012

Ausgabe: 188

Seiten: 220-229

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.SNA.2012.01.031 GOOGLE SCHOLAR
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