A genetic algorithm based Kinetic Monte Carlo simulation for the evolution of complex surface in anisotropic wet etching

  1. Xing, Y.
  2. Gosalvez, M.A.
  3. Tian, M.
  4. Sato, K.
Actas:
2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11

ISBN: 9781457701573

Año de publicación: 2011

Páginas: 374-377

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969477 GOOGLE SCHOLAR

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