Fabricación de microcanales en vídrioaplicación a microchips de electroforesis capilar y sensores ópticos

Abstract

Los contenidos de esta tesis se estructuran en cuatro capítulos diferenciados. En el primero de ellos se describe los fundamentos básicos de la óptica integrada, así como los distintos métodos de fabricación y caracterización de sus elementos básicos, las guías ópticas sobre vidrio. En este mismo capítulo se presenta un método sencillo de medida del índice de refracción superficial, que resulta un valor crítico para la caracterización de guías ópticas con un perfil de índice de refracción gradual. En el segundo capítulo se describe, de forma detallada, el trabajo realizado para la puesta en marcha de un proceso fotolitográfico de fabricación de distintos tipos de microdispositivos. Por otro lado se muestra el desarrollo de un sistema de escritura por láser que ha permitido la fabricación de máscaras necesarias para el proceso fotolitográfico. En el tercer capítulo de esta tesis se describe la optimización de un proceso de microfabricación mediante fotolitografía, haciendo uso de todos los equipos implementados en el laboratorio y que se han descrito en el capítulo anterior. De este modo, se describe la optimización del proceso de fabricación de microchips de electroforesis capilar con detección electroquímica integrada, así como de los distintos diseños y desarrollos que han sido fabricados y evaluados. Finalmente en el cuarto y último capítulo se establecen las futuras líneas de trabajo y se proponen nuevas aplicaciones hacia el sensado óptico que parten de los resultados obtenidos, descritos en los capítulos anteriores.