Anisotropic wet chemical etching of crystalline silicon: Atomistic Monte-Carlo simulations and experiments
- Gosalvez, M.A.
- Nieminen, R.M.
- Kilpinen, P.
- Haimi, E.
- Lindroos, V.
ISSN: 0169-4332
Datum der Publikation: 2001
Ausgabe: 178
Nummer: 1-4
Seiten: 7-26
Art: Artikel