Orientation-dependent surface morphology of crystalline silicon during anisotropic etching using a continuous cellular automaton

  1. Xing, Y.
  2. Gos̈alvez, M.A.
  3. Sato, K.
  4. Yi, H.
Zeitschrift:
Journal of Micromechanics and Microengineering

ISSN: 1361-6439,  0960-1317

Datum der Publikation: 2010

Ausgabe: 20

Nummer: 1

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0960-1317/20/1/015019 GOOGLE SCHOLAR

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