Modeling of silicon etching

  1. Gosálvez, M.A.
Livre:
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies

ISBN: 9780128177860

Année de publication: 2020

Pages: 345-365

Type: Chapitre d'ouvrage

DOI: 10.1016/B978-0-12-817786-0.00012-8 GOOGLE SCHOLAR
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