Modeling of silicon etching

  1. Gosálvez, M.A.
Buch:
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies

ISBN: 9780128177860

Datum der Publikation: 2020

Seiten: 345-365

Art: Buch-Kapitel

DOI: 10.1016/B978-0-12-817786-0.00012-8 GOOGLE SCHOLAR
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