Electrical insulation and breakdown properties of SiO2 and Al2O3 thin multilayer films deposited on stainless steel by physical vapor deposition

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Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 2015

Ausgabe: 595

Seiten: 171-175

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.TSF.2015.10.076 GOOGLE SCHOLAR