Etched profile control in anisotropic etching of silicon by TMAH+Triton

  1. Pal, P.
  2. Gosálvez, M.A.
  3. Sato, K.
Zeitschrift:
Journal of Micromechanics and Microengineering

ISSN: 0960-1317,  1361-6439

Datum der Publikation: 2012

Ausgabe: 22

Nummer: 6

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0960-1317/22/6/065013 GOOGLE SCHOLAR
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