A micromachined pressure sensor for biomedical applications

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Zeitschrift:
Journal of Micromechanics and Microengineering

ISSN: 0960-1317

Datum der Publikation: 1997

Ausgabe: 7

Nummer: 3

Seiten: 244-246

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0960-1317/7/3/044 GOOGLE SCHOLAR