Comparison of micro-fabrication routes for magneto-impedance elements: Lift-off and wet-etching

  1. García-Arribas, A.
  2. Fernández, E.
  3. Barrainkua, A.
  4. Svalov, A.V.
  5. Kurlyandskaya, G.V.
  6. Barandiaran, J.M.
Zeitschrift:
IEEE Transactions on Magnetics

ISSN: 0018-9464

Datum der Publikation: 2012

Ausgabe: 48

Nummer: 4

Seiten: 1601-1604

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1109/TMAG.2011.2173167 GOOGLE SCHOLAR