Axis cross-coupling reduction on a high bandwidth XY flexure stage
ISSN: 2211-0992, 2211-0984
ISBN: 9783319158617
Datum der Publikation: 2015
Ausgabe: 30
Seiten: 61-71
Art: Konferenz-Beitrag
ISSN: 2211-0992, 2211-0984
ISBN: 9783319158617
Datum der Publikation: 2015
Ausgabe: 30
Seiten: 61-71
Art: Konferenz-Beitrag